江苏万融系统集成有限公司 
合肥科微芯测科技有限公司
客户简介
合肥科微芯测科技有限公司专注于芯片及微电子相关测试技术与服务，业务涉及器件性能测试、可靠性分析与样品检测。微电子测试对环境洁净度、温湿度与静电防护极为敏感，企业在发展初期即需要一处高等级洁净测试空间，以保障测试结果的准确性与可重复性。万融与客户在一期洁净测试空间项目上建立了良好合作基础，并在此后持续协同推进二期厂房装修改造。
需求与挑战
客户一期项目的核心挑战在于：芯片测试区域需达到较高洁净等级，并严格控制温度、湿度与静电；测试设备对供电稳定性与环境震动有较高要求；不同测试工位之间需合理组织，避免相互干扰。同时，客户希望建设方案具备可扩展性，为后续产线与实验室的持续投入留出空间，并使后续扩建与一期在系统标准上保持一致。
解决方案
江苏万融系统集成有限公司针对微电子测试环境特点，提供洁净厂房与实验室一体化工程（洁净室系统集成、净化室系统总包）方案：按测试工艺要求设计洁净区，控制尘埃粒子与温湿度波动；在地面、工位等环节落实防静电措施；配置恒温恒湿净化空调保障测试环境长期稳定；布置环境监测与能源管理点位，支持后期集中监控与节能优化。公司在受控洁净空间领域已有畅丰生物 ISO8 级洁净实验室（温湿度波动 ±2℃、±5%RH）等工程经验，可迁移至微电子测试的精密环境控制。
项目配置与工程范围
| 分项 | 典型配置 |
|---|---|
| 洁净等级 | 按测试工艺选用 ISO8 级洁净（必要时精密工位局部升 ISO7） |
| 围护系统 | 50mm 玻镁净化板，阴阳角圆弧 R≥20mm，接缝密封检漏 |
| 空调环境 | 恒温恒湿 20~26℃、40%~70%RH，精密区波动收窄至 ±2℃、±5%RH |
| 换气次数 | ISO8 级 15~25 次/h，ISO7 级 25~40 次/h |
| 静电防护 | 防静电地面与工位接地，控制人体与设备静电积累 |
| 空气过滤 | 初效+中效+末端 H13 高效，逐台扫描检漏 |
| 自控监控 | 温湿度、压差、风量、过滤器压差集中监测与超差报警 |
实施要点
施工中重点把控洁净围护结构的密封性与净化空调的气流组织，按洁净等级逐级调试风量、压差与温湿度；防静电接地与供电系统同步施工、联合检测；末端高效过滤器逐台扫描检漏。万融团队按洁净工程节点组织隐蔽验收与环境检测，确保各项参数达标后交付，并在设计阶段即预留扩展接口，便于二期扩建平滑衔接。
在受控环境控制上，净化空调机组按初效、中效预处理后送入末端高效过滤，洁净区与非洁净区压差维持不低于 5Pa、对室外不低于 10Pa，ISO8 级空间换气次数控制在 15~25 次/h，温湿度稳定在 20~26℃、40%~70%RH；自控系统对房间压差、温湿度、风量与过滤器压差进行实时采集与超差声光报警，保障微电子测试环境长期稳定。
合作价值
- 受控洁净环境保障微电子测试数据的准确性与可重复性；
- 恒温恒湿与防静电措施降低器件损伤与测量偏差；
- 自控与能耗监控支撑长期节能与运行追溯；
- 一期合作形成统一标准，为二期厂房改造提供连续、一致的工程基础。
标准与规范契合
项目在设计与施工中参照洁净厂房相关标准组织实施：洁净等级与压差梯度参照 GB 50073-2013《洁净厂房设计规范》，不同等级洁净室之间、洁净区与非洁净区压差不低于 5Pa，洁净区对室外不低于 10Pa；围护施工与质量验收参照 GB 51110-2015，围护接缝密封、阴阳角圆弧处理；通风与空调参照 GB 50243-2016，净化风管不产尘、接缝严密；竣工阶段按 GB/T 25915.3-2024 开展悬浮粒子、压差、换气次数与高效过滤器检漏等现场检测。万融在一期设计中即统一了这些标准口径，为二期扩建提供了一致的技术基线。
常见问题
微电子测试为何强调恒温恒湿与洁净？
温湿度波动与尘埃颗粒会直接影响测试精度与器件可靠性，受控洁净环境是微电子测试的基础条件；精密工位可将波动收窄至 ±2℃、±5%RH。
洁净实验室高效过滤器选 H13 还是 H14？
ISO7、ISO8 洁净区域末端选用 H13 高效；ISO5 级高洁净区域及高等级生物排风选用 H14 级高效过滤器。
洁净工程能否分期建设？
可以。万融可在一期设计中预留接口与监测点位，使后续扩建、改造与既有系统平滑衔接、标准统一。
